光學(xué)石英玻璃存在3種不均勻性；顆粒，條紋和折射率變化。在陰影測(cè)試中，可以清楚的顯示出顆粒和條紋用干涉法或傅科法可以測(cè)定細(xì)條紋和折射率變化，用石英為原料生產(chǎn)的石英玻璃有明顯的顆粒結(jié)構(gòu)；用四氯化硅合成原料生產(chǎn)的石英玻璃沒有顆粒結(jié)構(gòu)
 

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